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產(chǎn)品資料

流量裝置

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 流量裝置
產(chǎn)品型號: APTECH
產(chǎn)品展商: 美國APTECH
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

AP Tech 是Advanced Pressure Technology 的縮寫, 成立于1987年, 是專門為半導(dǎo)體晶片廠 提供各種氣體操作組件的, 通過使用點(diǎn)和VMB及氣體流程控制盤為氣瓶柜、大宗氣體系統(tǒng) 提供調(diào)壓閥、隔膜閥、單向閥和各種流量裝置.


流量裝置  的詳細(xì)介紹
流量裝置
 
真空發(fā)生器、流量開關(guān)

Flow Devices


LOCK OUT/TAG OUT (LOTO) VALVE SAFETY DEVICES

 

Model Model Model Model
AP PL 210 AP PL 225 AP PL 226 AP PL 227


CHECK VALVE

Series Model Material Pressure
Max
PSIG/BAR		 Cv Cracking Pressure
PSIG/BAR		 Connection
Size
Inch		 Connection
Type
AP 64 S VAR 3500/241 0.4 max 3/0.23 1/4 W


VACUUM GENERATORS

Series Model Material Vacuum
Efficiency
In Hg/Torr		 Modules* Connection
Size
Inch		 Connection
Type
AP 7 S VAR 26/100   1/4, 3/8 W
AP 70 S VAR 26/100   1/4, 3/8 W
AP 71 S VAR 26/100 Standard 1/4, 3/8 W
AP 72 S VAR 26/100 Standard 1/4, 3/8 W

* Monoblock vacuum generator, N2 supply valve and check valve


FLOW SWITCHES

Series Model Material Pressure Max
PSIG/BAR		 Trip Points
SLPM @ 100 psi N2		 Connection
Size
Inch		 Connection
Type
AP 74 S VAR 3500/267 2,5,10,25,50,100 1/4 W
AP 74B S VAR 3500/241
2400/163		 225,350,500,950
1100,1650,2600		 1/2
3/4		 W
W
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